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质量流量控制器

气体质量流量控制器差压式质量流量控制器科里奥质量流量计流量控制器热式流量控制器

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气体质量流量控制器 MFC 精密控制仪表

更新时间：2026-09-18

型号：

浏览量：172

气体质量流量控制器 MFC 精密控制仪表不受温度、压力波动影响，广泛用于各类工艺气体的定量供给与闭环控制。集流量传感器、控制阀门、信号放大电路、PID 控制模块于一体，可实时采集流量信号，自动调节阀门开度，稳定维持设定流量，是半导体、光伏、氢能、真空镀膜、实验室。
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grylls多路气体质量流量控制器

更新时间：2026-09-14

型号：

浏览量：182

grylls多路气体质量流量控制器 MFC 是可以直接测量 + 自动闭环控制气体质量流量的精密机电一体化仪表**，区别于体积流量计，它控制的是气体分子质量，**不受气体压力、温度波动带来的体积变化干扰**，是精密气路的核心部件。
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5901热式GRYLLS格里尔斯气体测试质量流量控制器

更新时间：2026-06-15

型号：5901热式

浏览量：6169

GRYLLS格里尔斯气体测试质量流量控制器采用热式原理，预热时间短，精度高，零飘小，管状分流，不易堵塞，适用于各种低压和高压管道，流量可达6000SLM,并可实现数字/模拟控制模式，产品采用高速控制算法，0.5sccm – 6000 slm 全量程，支持数字量输入/输出,设备自体可带操控按键和显示屏。
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5900热式Grylls格里尔斯热式质量流量控制器

更新时间：2026-06-15

型号：5900热式

浏览量：6869

Grylls格里尔斯热式质量流量控制器，热式原理， 0.5sccm – 6000 slm 全量程，支持数字量输入/输出,设备自体可带操控按键和显示屏，亦可采用流量计算机控制和显示流量，可以提供带有可选配的多介质/多量程的功能。预热时间短，精度高，零飘小，管状分流，不易堵塞，适用于各种低压和高压管道，流量可达6000SLM,并可实现数字/模拟控制模式。
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国产质量流量控制器

更新时间：2026-07-15

型号：

浏览量：4594

国产质量流量控制器：该产品由质量流量传感器，层流分层件，流量控制器调节阀和放大控制电路等部件组成。它利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应而制成。
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通用型质量流量控制器

更新时间：2026-06-29

型号：

浏览量：2969

GRYLLS通用型质量流量控制器，GRYLLS-31系列数字型质量流量计/控制器由质量流量传感器，层流分层件，流量控制器调节阀和放大控制电路组成，采用数字信号输入输出，具有预热时间短，零漂小，可靠性高等特点。
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GRYLLS5900格里尔斯质量流量控制器

更新时间：2026-06-15

型号：GRYLLS5900

浏览量：7519

格里尔斯质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密测量和控制，在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。
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5921DD4热式气体流量控制器

更新时间：2026-06-15

型号：5921DD4

浏览量：3356

热式气体流量控制器5921DD4 ◆热式原理,响应快,精度高 ◆格里尔斯GRYLLS-5950系列模拟式质量流量计管状分流,不易堵塞 ◆适用于各种低压和高压管道 ◆预热时间短,零漂小,可靠性高 ◆模拟量输入/输出,可使用二次表或流量计算机控制和显示流量
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